深圳市恒运昌真空技术股份有限公司于2026-01-28上市,公司主营业务为等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务,并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件,围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。
根据2026年1月22日公告:公司产品已实现量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商,并配套中芯国际、长江存储等国内晶圆厂,在国内半导体领域系首家出货过亿元和首家实现等离子体射频电源系统(支持半导体先进制程)量产的国产厂商。公司打破多年来海外巨头在国内等离子体射频电源系统领域的垄断格局,能与海外巨头同台竞争,并不断扩大市场占有率。
公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商,主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务,并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件,围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司于2026-01-28日上市,主营业务为等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务,并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件,围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。
恒运昌于2026-01-28上市,公司主营业务为等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务,并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件,围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。